Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – небольшие устройства, объединенные с полупроводниковыми приборами и сочетающие характеристики электронных схем и механических компонентов. Различные типы МЭМС требуют контроля параметров при различных физических воздействиях, воздействий температур и прочих условиях, определяющих функциональность устройства. Обычно для достижения надежной […]